走査プローブ顕微鏡リソグラフィーによるナノ作製  レビュー

TSENG Ampere A.; NOTARGIACOMO Andrea; CHEN T. P.

文献

J-GLOBAL ID：200902249963802510 整理番号：05A0682224

走査プローブ顕微鏡リソグラフィーによるナノ作製レビュー

Nanofabrication by scanning probe microscope lithography: A review

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資料名：
巻： 23 号： 3 ページ： 877-894 発行年： 2005年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ナノスケール作製に関する,走査型プローブ顕微鏡(SPM)を利...

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固体デバイス製造技術一般

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