測定装置および方法、並びにプログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲本義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-094688
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275739
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】被測定物体の形状を迅速に測定するようにする。【解決手段】ゾーンプレート15aにより、レーザ11の強度が、被測定物体25への入射角に応じて調整され、被測定物体25の高さが測定される。PC30は、駆動装置27を駆動して、結像レンズ26を垂直方向に移動させて、結像レンズ26のフォーカス点を測定範囲の一方の基準位置に設定し、その後、測定範囲の他方の基準位置に達するまで、観測系のレンズ22の被写界深度に対応する分ずつ順次移動させる。PC30は、合焦位置のそれぞれにおいて、所定の周波数のゾーンプレート15aを順次選択する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ゾーンプレートに基づき形成されたゾーンプレート状の光強度分布により光源の強度を入射角に応じた値に調整して、被測定物体の高さを測定する測定装置において、観測系の合焦位置を測定範囲の第1の基準位置に設定した後、前記測定範囲の第2の基準位置に達するまで、前記観測系のレンズの被写界深度に対応する分ずつ順次移動する設定手段と、前記合焦位置のそれぞれにおいて、所定の周波数の前記ゾーンプレートを順次選択する選択手段と、選択された前記ゾーンプレートを用いて強度を入射角に応じた値に調整した光を前記被測定物体に照射して検出強度を測定する測定手段と、測定された前記検出強度に基づいて、前記ゾーンプレートの周波数に対応する前記被測定物体の高さを演算する演算手段とを備えることを特徴とする測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/02

FI (1件)：

G01B11/02 G

Fターム (32件)：

2F065AA24 , 2F065AA53 , 2F065BB25 , 2F065BB26 , 2F065DD06 , 2F065FF10 , 2F065FF48 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG18 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065LL04 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL43 , 2F065LL46 , 2F065LL49 , 2F065LL53 , 2F065MM26 , 2F065NN01 , 2F065NN08 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ24 , 2F065QQ29 , 2F065QQ44

引用特許：

出願人引用 (2件)

立体形状検出方法及びその装置並びに共焦点検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-236605 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
特開昭63-249125

審査官引用 (2件)

立体形状検出方法及びその装置並びに共焦点検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-236605 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
特開昭63-249125

引用文献：

審査官引用 (3件)

Synthetic spatial coherence function for optical t
Synthetic spatial coherence function for optical t
LCD-based low spatial coherence interferometer

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