特許
J-GLOBAL ID：200903058587416860
立体形状検出方法及びその装置並びに共焦点検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236605
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059712
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】表面が透明に形成された被検出対象物における表面の凹凸や突起等の高さである立体形状を高精度に検出可能にした立体形状検出方法およびその装置並びに共焦点検出装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、被検出対象物3上の検出箇所に、輪帯もしくは疑似輪帯の照明光により形成された1個以上のスポット照明光を対物レンズ27を通して照射する輪帯照明微小スポット照射光学系2と、該輪帯照明微小スポット照射光学系2により前記検出箇所に照射されたスポット照明光の反射光を前記対物レンズ27を通して共焦点検出する光電変換手段44を有する共焦点検出光学系4と、該共焦点検出光学系の光電変換手段44によって得られた信号の強度に基いて被検出対象物3上の検出箇所における立体形状を検出する信号処理回路5とを備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検出対象物上の検出箇所に、輪帯もしくは疑似輪帯の照明光により形成された1個以上のスポット照明光を照射し、前記検出箇所に照射されたスポット照明光の反射光を共焦点検出することにより得られる信号の強度に基いて被検出対象物の立体形状を検出することを特徴とする立体形状検出方法。
Fターム (47件)：
2F065AA24
, 2F065AA49
, 2F065AA54
, 2F065BB22
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065EE00
, 2F065FF09
, 2F065FF10
, 2F065FF42
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065GG22
, 2F065HH01
, 2F065HH04
, 2F065HH08
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ09
, 2F065JJ16
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL08
, 2F065LL09
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL20
, 2F065LL21
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL47
, 2F065MM01
, 2F065NN20
, 2F065PP02
, 2F065PP03
, 2F065PP12
, 2F065QQ17
, 2F065QQ23
, 2F065QQ28
, 2F065UU07
