特許
J-GLOBAL ID：200903039653210948
三次元形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005023586
公開番号（公開出願番号）：WO2006-068217
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
白色干渉縞を用いて被計測物の三次元形状を計測する三次元形状計測装置(白色干渉計測装置)において、演算に要する処理時間を短縮化しつつ、白色干渉縞の振幅が最大となる位置を高精度で特定することができるようにする。白色干渉計測装置において、まず、参照鏡(6)からの戻り光と被計測物体(7)からの戻り光との干渉によって生ずる白色干渉縞について振幅の包絡線分布を求め、この包絡線分布を用いて白色干渉縞のコントラストが最大となるおおよその位置を求めておく。次に、白色干渉縞に含まれる少なくとも二以上の互いに異なる分光スペクトル帯域成分の干渉縞を抽出し、白色干渉縞のコントラストが最大となるおおよその位置の近傍において互いに異なる分光スペクトル帯域成分の干渉縞の位相が互いに等しい値をとる位置を求める。
請求項（抜粋）：
広帯域スペクトルをもつ照明光を発生する光源から被計測物までの光路長、または、前記光源から参照鏡までの光路長を変化させ、これら光路長が等しくなる位置を検出することによって、当該被計測物の三次元形状を計測する三次元形状計測方法において、
前記参照鏡からの前記照明光の戻り光と前記被計測物からの前記照明光の戻り光との干渉によって生ずる白色干渉縞の振幅の包絡線が最大値を示す位置を含む概略位置を求める段階と、
前記白色干渉縞に含まれる少なくとも二以上の互いに異なる分光スペクトル帯域成分の干渉縞を抽出する段階と、
前記概略位置の近傍において、前記互いに異なる分光スペクトル帯域成分の干渉縞の位相が互いに等しい値をとる位置を求めることによって、前記光源から前記被計測物までの光路長が前記光源から前記参照鏡までの光路長に等しくなる位置を決定する段階と
を含むことを特徴とする三次元形状計測方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA04
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065FF51
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG07
, 2F065GG24
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL20
, 2F065LL22
, 2F065LL46
, 2F065QQ01
, 2F065QQ16
, 2F065QQ29
