特許
J-GLOBAL ID：200903024933554882

複数波長を用いた干渉縞測定における解析的縞移動補正方法

発明者：
植木 伸明

植木 伸明 について


出願人/特許権者：
富士写真光機株式会社

富士写真光機株式会社 について


代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068199
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266508
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【目的】 複数波長を用いた干渉計装置により得られた被検体の干渉縞データを解析し、被検体の形状を測定する際に、各干渉縞データが測定領域の同一位置で最大値となるよう各干渉縞データ毎の正弦波関数位相Φλ+δλを決定することで、0次の縞位置を認識し、外乱の影響がない干渉縞データを得る。【構成】 複数波長を用いた干渉計装置により得られた被検体の干渉縞データを解析して、該被検体の表面状態を測定する際に、(1)複数の波長λの干渉光各々により得られた被検体の干渉縞データに基づき、各波長λの干渉光に応じた該干渉縞データ毎の位相情報Φλを抽出し、(2)該位相情報Φλを用いて、該干渉縞データ毎に所定の正弦波関数を作成し、(3)被検体の測定領域内の所定の座標位置において、干渉縞データが最大値となるように、各々の干渉縞データについて正弦波関数の位相Φλ+δλを決定することにより、0次の縞位置を特定する。
請求項（抜粋）：
複数波長を用いた干渉計装置により得られた被検体の干渉縞データを解析し、該被検体の形状を測定する際に、複数の波長λの干渉光各々により得られた被検体の干渉縞データに基づき、各波長の干渉光に応じた該干渉縞データ毎の位相情報Φλを抽出し、該位相情報Φλを用いて、該干渉縞データ毎に所定の正弦波関数を作成し、前記被検体の測定領域内の所定の座標位置において、前記干渉縞データが最大値となるように、各々の位相Φλ+δλを決定することを特徴とする複数波長を用いた干渉縞測定における解析的縞移動補正方法。
Fターム (19件)：
2F064AA09 ,  2F064CC02 ,  2F064CC10 ,  2F064DD01 ,  2F064DD05 ,  2F064EE01 ,  2F064EE04 ,  2F064EE10 ,  2F064FF07 ,  2F064GG12 ,  2F064GG21 ,  2F064GG40 ,  2F064GG42 ,  2F064GG61 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ06 ,  2F064JJ15 ,  2F064MM00
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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