特許
J-GLOBAL ID：200903086425284298
生成装置および方法、測定装置および方法、並びにプログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-094689
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275740
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】少ない数のゾーンプレートで高さを測定するようにする。【解決手段】 ステップS11で、フーリエスペクトルの幅fvが決定される。ステップS12で、ゾーンプレートの周波数γの走査ステップ(=1/fs)が決定される。ステップS13で、ステップS11で算出された幅fvとステップS12で算出されたサンプリングレートfsとの関係の下で、キャリア縞の周波数fcが決定される。ステップS14で、初期位相βと周波数γをリニアな関係に設定する式β=2πfcγに従って、周波数γと、ステップS13で決定されたキャリア縞の周波数fcから位相βが算出される。周波数γと算出した位相βを有するゾーンプレート15aが生成される。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
ゾーンプレートに基づき形成されたゾーンプレート状の光強度分布により光源の強度を入射角に応じた値に調整して、被測定物体の高さを測定する測定装置に用いる前記ゾーンプレートを生成する生成装置において、
前記測定装置により検出される検出強度をフーリエ変換した場合に得られる-1次または+1次フーリエスペクトルの幅を決定する幅決定手段と、
前記ゾーンプレートの周波数の走査ステップを、前記被測定物体の高さの検出単位、前記被測定物体を測定するとき用いる前記光源の光の波長、および前記被測定物体を観測する観測系のレンズの焦点距離に基づいて決定する走査ステップ決定手段と、
前記検出強度のキャリアの周波数を決定する周波数決定手段と、
前記ゾーンプレートを決定するパラメータのうちの初期位相を、前記ゾーンプレートの周波数を決定すると一義的に決定されるように設定して、前記ゾーンプレートを生成するゾーンプレート生成手段と
を備えることを特徴とする生成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (24件)：
2F065AA24
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065FF44
, 2F065FF51
, 2F065GG00
, 2F065GG04
, 2F065HH03
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065HH18
, 2F065LL21
, 2F065LL49
, 2F065QQ00
, 2F065QQ08
, 2F065QQ16
, 2F065QQ25
, 2F065SS00
, 2F065SS02
, 2H049AA04
, 2H049AA14
, 2H049AA33
, 2H049AA50
, 2H049AA55
審査官引用 (3件)
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Synthetic spatial coherence function for opticalto
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Synthetic spatial coherence function for optical t
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LCD-based low spatial coherence interferometer
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