特許
J-GLOBAL ID：200903093231361123
三次元形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-006729
公開番号（公開出願番号）：特開2007-187585
出願日： 2006年01月13日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
【課題】本発明の目的は、光学的処理を減らし、簡易な規模で、三次元測定を信頼性の良く行える技術を提供する。【解決手段】ビームスプリッター5が、広帯域光及びコヒーレント光を合波して参照鏡を有する参照光路と被測定物を配置した測定光路とに分岐して入射させて照射し、参照鏡からの反射光と被測定物の照射範囲の照射位置からの各反射光とを合波して出力する光学系において、光路長可変手段8により測定光路の光路長を変化させて、その変化に応じてカメラ10が光路形成部からの出力を撮像することによって干渉縞のデータを取得する。光路長検出手段14はそのデータにより、光路長の変化に対する前記コヒーレント光による干渉縞の変化をスケールとして、広帯域光による干渉縞が生ずる測定光路の光路長を求める構成とした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数スペクトラムを有する広帯域光を出力する広帯域光源(1)と、
ほぼ単波長成分のコヒーレント光を出力するコヒーレント光源(11)と、
該広帯域光及びコヒーレント光を合波して参照鏡を有する参照光路と被測定物を配置した測定光路とに分岐して入射させ、前記参照鏡からの反射光と照射された前記被測定物の照射範囲の照射位置からの各反射光とを合波して出力する光路形成部(5)と、
前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を変化させる光路長可変手段(8)と、
該光路長可変手段による該光路長の変化に対応して、前記光路形成部からの出力を撮像することによって干渉縞のデータを取得する撮像手段(10)と、
該撮像手段が出力するデータにより、前記広帯域光による干渉縞が生ずる前記参照光路又は前記測定光路のいずれか一方の光路長を、該光路長の変化に対する前記コヒーレント光による干渉縞の変化を基に求める光路長検出手段(14)と、を備えた三次元形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD02
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065GG05
, 2F065GG22
, 2F065GG24
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL35
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065UU07
出願人引用 (3件)
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3次元形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-119993
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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USP662894号公報
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形状測定方法および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-301476
出願人：オリンパス光学工業株式会社
審査官引用 (1件)
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形状測定方法および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-301476
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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