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J-GLOBAL ID：200902105158067968   整理番号：97A0800981

マイクロスキャンIII-第三世代、反射屈折ステップおよび走査リソグラフィーツールの性能

Micrascan III-performance of a third generation, catadioptric step and scan lithographic tool.

著者 (9件)： COTE D (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  ANDRESEN K (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  CRONIN D (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  HARROLD H (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  HIMEL M (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  KANE J (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  LYONS J (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  MARKOYA L (SVG Lithography Systems, Inc., CT) ,  WILLIAMSON D (SVG Lithography Systems, Inc., CT)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3051  ページ： 806-816  発行年： 1997年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： スキャン ,  世代 ,  屈折 ,  走査 ,  リソグラフィー ,  ツール