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J-GLOBAL ID：200902121888523786   整理番号：01A0777406

SiO₂/LiNbO₃構造超高結合・零温度特性弾性表面波基板の解析とデバイスへの応用

High Temperature Stable Surface Acoustic Wave Substrate of SiO₂/LiNbO₃ Structure with Super High Coupling.

著者 (1件)： 山之内和彦 (東北工大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 101  号： 116(US2001 13-23)  ページ： 15-24  発行年： 2001年06月20日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究は,回転Yカット-X伝搬のLiNbO<sub>3</s...

シソーラス用語： *弾性表面波 ,...
準シソーラス用語： 温度特性 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (15件)：

• 山之内. KNbO_3圧電体単結晶を用いた超高結合弾性表面波の伝搬特性. 日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会第50回研究会資料 (8. 11. 27). 1996
• YAMANOUCHI, K. Theoretical and experimental study of super-high electromechanical coupling surface acoustic wave propagation in KNbO_3 single crystal. Electronics Letters. 1997, 33, 3, 193-194
• YAMANOUCHI, K. Super High Electromechanical Coupling and Zero Temperature Coefficient Surface Acoustic Wave Subs-rates in KNbO_3 Single Crystal. IEEE Trans. on UFFC. 1999, 46, 3, 700-705
• PARKER, T. E. Material parameters of the temperature-stable SiO_2/Y-Z LiTaO_3 structure. Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1975. 1975, 503
• PARKER, T. E. Temperature-compensated surface-acoustic-wave devices with SiO_2 film overlavs. J. Appl. Phys. 1979, 50, 3, 1360-1369

タイトルに関連する用語 (5件)： SiO2 ,  温度特性 ,  弾性表面波 ,  解析 ,  応用