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J-GLOBAL ID：200902174312214644   整理番号：96A0878975

三次元分析のための電子・イオンデュアル収束ビーム装置の試作 (II)

Electron and Ion Dual Focused Beam Apparatus for Three Dimensional Analysis. (II).

著者 (5件)： 坂本哲夫 (東大 生産技研) ,  CHENG Z (東大 生産技研) ,  高橋正典 (東大 生産技研) ,  尾張真則 (東大 環境安全研セ) ,  二瓶好正 (東大 生産技研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 57th  号： 2  ページ： 553  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 分析 ,  電子 ,  イオン ,  デュアル ,  収束 ,  ビーム ,  試作