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J-GLOBAL ID:200902258864654222   整理番号:08A1100844

CH4/H2プラズマ中のCxHy蓄積によるイオン・ラジカル生成量の変化

著者 (3件):
資料名:
巻: 2008  ページ: ROMBUNNO.0080  発行年: 2008年10月25日 
JST資料番号: L1739B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  プラズマ応用 
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