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J-GLOBAL ID:200902272779236082   整理番号:07A1013544

電子ビーム誘起堆積Pt層の電気伝導特性:(I)ビーム滞留時間依存性

著者 (6件):
資料名:
巻: 68th  号:ページ: 750  発行年: 2007年09月04日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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金属薄膜 

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