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J-GLOBAL ID：201002264116595214   整理番号：10A1019474

旋回流を利用した非接触搬送装置に関する研究(カップ-ワーク間距離と旋回流挙動との関係)

Study on a Non-contact Handling Device using Swirling Flow (Investigation of Swirl behavior with Various Gap Height)

著者 (5件)： 飯尾昭一郎 (信州大) ,  梅鉢茉紗子 (明電舎) ,  黎シン (東京工大) ,  香川利春 (東京工大) ,  池田敏彦 (信州大)
資料名： 可視化情報学会誌  (可視化情報)
巻： 30  号： Suppl.2  ページ： 155-156  発行年： 2010年10月15日 
JST資料番号： S0973B  ISSN： 0916-4731  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体工場におけるウェハ搬送装置は生産効率や信頼性の向上のために電磁力や空気圧等を利用した非接触搬送装置が実用化されている。それに使用するボルテックスカップでは旋回流挙動と吸引圧力とが密接に関係するために両者間の関係を明らかにすることは極めて重要となる。そこで旋回流挙動及び吸引圧力に対する隙間高さの影響を調べる実験を行った。試験結果から隙間高さが最適隙間高さよりも広い場合に渦室内の旋回流が圧力の周期的変動を誘起しておりこれは旋回流の偏心によることを示した。最適隙間高さの場合に旋回流の中心位置は定常的に渦室の高さ方向に異なる。これは渦室内壁面に沿った上昇流と噴流のエントレインメントによる下降流の存在によることを示した。

シソーラス用語： 旋回流 ,  運搬 ,  *工作物 ,  吸込 ,  圧力効果 ,  間隙 ,  高さ ,  渦室 ,  圧力変動 ,  *最適設計 ,  エントレインメント ,  流体流
準シソーラス用語： 下降流 ,  *非接触運搬

分類 (4件)： 流体力学一般  (BC01010Z) ,  その他の荷役・運搬機械  (QE01040B) ,  運搬管理  (KB05040O) ,  固体デバイス一般  (NC03010Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 旋回流 ,  非接触搬送 ,  研究 ,  カップ ,  ワーク ,  挙動