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J-GLOBAL ID：201602231436867619   整理番号：16A1286442

a-Si薄膜太陽電池のための多組織化周期的ガラス表面形態による光散乱【Powered by NICT】

Light scattering through multi-textured periodic glass surface morphologies for a-Si thin film solar cells

著者 (8件)： Hussain Shahzada Qamar (Department of Energy Science, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Kwon Gi Duk (Department of Energy Science, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Park Hyeongsik (College of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Ahn Shihyun (College of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Kim Sunbo (Department of Energy Science, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Le Anh Huy Tuan (College of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Balaji Nagarajan (Department of Energy Science, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea) ,  Yi Junsin (College of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, 440-746, Republic of Korea)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： PVSC  ページ： 3651-3654  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 前面透明導電性酸化物(TCO)膜は,その高い透明性,伝導率と優れた光散乱特性に起因する非晶質シリコンベース薄膜太陽電池において重要な役割を果たす。前面TCO膜の良好なステップカバレージと正確な表面形態は,日ホットな研究トピックである。TCO膜の低ステップカバレッジため非均一性,非晶質シリコン薄膜太陽電池(a Si TFSCs)の低い性能を呈していた。高透過率を有する新しいマルチテクスチャ周期的テクスチャードガラス表面形態とa-Si TFSCのAZO膜のより優れたステップ被覆率を報告した。ガラス基板のSF_6/Arプラズマエッチングは,高い粗さとヘイズ比を用いた湿潤(緩衝水力ふっ素系酸(BHF))化学エッチングはテクスチャードガラス表面形態の形状を制御することにより良好なステップカバレージのための行った。ピラミッド形テクスチャードガラス表面形態は最低のシート抵抗,高い透過率とRFマグネトロンスパッタリングされたAZO薄膜の粗さを提供した。AZO膜は800nm厚さの6.242Ω/□の最低シート抵抗と可視波長領域で90.19%と54.29%の最も高い全透過率とヘイズ比を示した。ピラミッドガラス表面上に堆積したAZO膜は良好なステップ被覆を示した。AZO膜のシート抵抗と抵抗率のわずかな変化は,表面形態の形状と角度と密接に関連していることをAZO膜のステップ被覆率に関連していた。低シート抵抗,高透過率とステップ被覆率を持つAZO膜は,将来のa-Si薄膜太陽電池の性能を改善するために用いることができる。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 角錐 ,  透過率 ,  アモルファスシリコン ,  *ガラス ,  シート抵抗 ,  被覆率 ,  プラズマエッチング ,  電気抵抗率 ,  不均一性
準シソーラス用語： 化学エッチング ,  ヘイズ ,  ガラス基板 ,  透明導電性酸化物 ,  *表面形態 ,  *薄膜太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： パターン認識  (JE07000S) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si薄膜 ,  太陽電池 ,  組織化 ,  ガラス ,  表面形態 ,  光散乱