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J-GLOBAL ID：201602277228775215   整理番号：16A1104011

TiO₂/NiO/Cu₂O薄膜の温湿度特性に及ぼすNiO,Cu₂O層の影響

著者 (2件)： 川口天文 (工学院大 大学院) ,  鷹野一朗 (工学院大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 134th  ページ： 175-176  発行年： 2016年08月22日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化チタン ,  酸化ニッケル ,  酸化銅 ,  *多層膜 ,  電気抵抗率 ,  温度係数 ,  *センサ ,  結晶構造 ,  湿度

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： TiO2 ,  Cu2O ,  薄膜 ,  温湿度