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J-GLOBAL ID：201702214330653174   整理番号：17A0759428

ミスト化学気相成長法によるサファイア基板上のバッファ層上に形成されたm面ZnO膜の改善【Powered by NICT】

Improvement of m-plane ZnO films formed on buffer layers on sapphire substrates by mist chemical vapor deposition

著者 (10件)： Tanoue Hironobu (Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan) ,  Takenouchi Masato (Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan) ,  Yamashita Tatsuya (Faculty of Engineering, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan) ,  Wada Shohei (Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan) ,  Yatabe Zenji (Priority Organization for Innovation and Excellence, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan) ,  Nagaoka Shoji (Kumamoto Industrial Research Institute, 862-0901 Kumamoto, Japan) ,  Nagaoka Shoji (Kumamoto Institute for Photo-Electro Organics, 860-0901 Kumamoto, Japan) ,  Naka Yoshihiro (Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan) ,  Nakamura Yusui (Kumamoto Institute for Photo-Electro Organics, 860-0901 Kumamoto, Japan) ,  Nakamura Yusui (Faculty of Advanced Science and Technology, Kumamoto University, 860-8555 Kumamoto, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214  号： 3  ページ： ROMBUNNO.201600603  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ミスト化学蒸着(ミストCVD)により成長させたZnO膜の結晶品質はサファイア基板上にZnOバッファ層を導入することにより改善された。ZnO膜はZnCl_2水溶液中,2インチウエハ上で均一なエピタキシャル層を提供する高速回転型ミストCVDにより成長させた。ZnOバッファ層を成長させるために,多結晶の小さな結晶粒を形成する必要がある。,Zn(CH_3COO)2水溶液を用いたZnOバッファ層,約100nmの小さな粒径を成長させることを試みた。バッファ層を用いて,ZnO膜のX線ロッキング曲線の半値全幅は0.69°から0.38°に減少し,結晶品質の改善を示した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 粒径 ,  *サファイア ,  多結晶 ,  *バッファ層 ,  水溶液 ,  *ミスト ,  結晶粒 ,  *酸化亜鉛 ,  ロッキングカーブ ,  *化学蒸着 ,  *亜鉛 ,  FWHM
準シソーラス用語： 結晶品質 ,  ミストCVD ,  *サファイア基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： バッファ層 ,  ミスト化学蒸着 ,  サファイア ,  基板 ,  薄膜 ,  ZnO

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミスト化学気相成長法 ,  サファイア基板 ,  バッファ層 ,  ZnO