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J-GLOBAL ID：201702216572138110   整理番号：17A0182163

三角形増幅器機構に基づいた新しい2D圧電ナノ位置決めステージ【Powered by NICT】

A novel 2D piezo-nanopositioning stage based on triangle amplifier mechanism

著者 (3件)： Liu Xue-rui (State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures, Nanjing University of Aeronautics & Astronautics, Nanjing, 210016, China) ,  Huang Wei-qing (State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures, Nanjing University of Aeronautics & Astronautics, Nanjing, 210016, China) ,  Wang Yin (College of Mechanical Engineering and Automation, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SPAWDA  ページ： 314-318  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分解能と位置決め精度のために,圧電nanoposititioning段階は精度と超精密分野で広く用いられている。大きな移動範囲と双方向対称出力特性を持つナノ位置決めプラットフォームを提案した。理論的静的モデルは出力力,変位,静的剛性とプラットフォームの構造パラメータ間の関係を開発した。プラットフォームの静的解析をANSYSワークベンチにより行った。最後に,理論的および有限要素モデルを実験により確認した。プロトタイプの実験結果は,XおよびY方向の出力性能は類似しており,それらの両方が理論値から8%の偏差以内であることを示した。ステージのストロークはXとYの方向にそれぞれ41.6μmと42.9μmに達し,10Hzの入力正弦波電圧の振幅に直接比例した。最小出力変位ステップは50nmであった。設計されたナノ位置決めステージは双方向対称出力特性とミリ秒始動特性で,高い位置決め精度であった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高分解能 ,  *増幅器 ,  正弦波 ,  剛性 ,  *圧電気 ,  構造パラメータ ,  プロトタイプ ,  対称性
準シソーラス用語： FEMモデル ,  ANSYS ,  静的解析 ,  出力特性 ,  超精密 ,  位置決め精度 ,  *ナノポジショニング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  サーボ機構  (IC03030Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 三角形 ,  増幅器 ,  2D ,  圧電 ,  ナノ位置決め ,  ステージ