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J-GLOBAL ID：201702225353682641   整理番号：17A0057456

MEMS容量性スイッチにおける誘電体帯電持続的信頼性問題,可給態モデルと評価法【Powered by NICT】

Dielectric charging in MEMS capacitive switches a persisting reliability issue, available models and assessment methods

著者 (4件)： Koutsoureli M. (Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece) ,  Birbiliotis D. (Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece) ,  Michalas L. (Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece) ,  Papaioannou G. (Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： MMS  ページ： 1-4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS容量性スイッチにおける誘電体帯電の信頼性問題はこの主題に関する多数の論文から得られた現在の知見を考慮して調べた。利用可能な電荷注入モデルの欠点が指摘されている,横方向電荷再分布を生じる膜厚と材料化学量論の依存性を議論し,利用可能な評価技術を示し,誘電体薄膜を介して放電過程を解析した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 放電 ,  化学量論 ,  *信頼性 ,  キャリア注入 ,  *誘電体 ,  *MEMS ,  誘電体薄膜 ,  *帯電 ,  膜厚 ,  *スイッチ
準シソーラス用語： 評価技術 ,  *評価法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  容量性 ,  誘電体 ,  帯電 ,  モデル ,  評価法