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J-GLOBAL ID：201702237241209656   整理番号：17A0900826

プラズマイオン注入成膜(PBIID)法を用いて成膜したDLC膜の顕微ラマン分光法による残留応力測定

著者 (3件)： 三木靖浩 (奈良県産業振興総合セ) ,  近藤千尋 (奈良県産業振興総合セ) ,  西本明生 (関西大 化学生命工)
資料名： Jasco Report  (Jasco Report)
巻： 59  号： 2  ページ： 5-12  発行年： 2017年07月15日 
JST資料番号： L1132A  ISSN： 0916-3492  CODEN： JREPEH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜と基板との密着性は,皮膜に存在する残留応力と密接に関係する。著者らは,DLC膜に存在する残留応力を求める方法として,顕微鏡ラマン分光法を用いて非破壊で残留応力を測定した。DLC膜は,プラズマイオン注入成膜法を用いて作製し,DLC膜中のグラファイト構造に帰属するGピークのラマンシフトと残留応力の関係について検討した。その結果,基板の反りから求めた残留応力値とGピークラマンシフト値との間には,非常に良い直線関係が成り立つ。

シソーラス用語： 分子構造 ,  イオン注入 ,  *構成 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  皮膜 ,  *顕微Raman分光法 ,  残留応力 ,  基板 ,  密着性 ,  黒鉛組織
準シソーラス用語： DLC【炭素】 ,  グラファイト構造 ,  プラズマイオン注入法 ,  *成膜

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  分光分析  (CC03012W)

引用文献 (24件)：

• Z. L. Zhang and T. Bell, ′′Structure and corrosion resistance of plasma nitrided stainless steel′′, Surface Engineering, Vol.1, No.2 pp.131 - 136 (1985).
• K. Ichii, K. Fujimura and T. Takase, ′′Structure of ion nitrided layers of 18-8 stainless steel′′, Technology Reports of Kansai University, Vol.27, pp.135 - 144 (1986).
• B. A. Latella and K. T. Short, ′′Tension-driven cracking of an expanded austenite layer′′, Journal of Material Science, Vol.39, No.13, pp.4321 - 4324 (2004).
• D. Hoeft B. A. Latella and K. T. Short, ′′Residual stress and cracking in expanded austenite layers′′, Journal of Physics : Condensed Matter, Vol.17, No.23, pp.3547 - 3558 (2005).
• T. L. Christiansen, T. S. Hummelshoj and M. A. J. Somers, ′′Expanded austenite, crystallography and residual stress′′ Surface Engineering, Vol.26, No.4, pp.242 - 247 (2010).

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマイオン注入 ,  成膜 ,  法 ,  DLC膜 ,  顕微ラマン分光法 ,  残留 ,  応力測定