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J-GLOBAL ID：201702238871173895   整理番号：17A0033114

様々なAl量添加されたZnO透明導電膜における配向秩序とキャリア輸送とに与えるGa添加ZnO critical layerの効果

著者 (7件)： 野本淳一 (高知工科大 総研) ,  稲葉克彦 (リガク X線研) ,  長田実 (高知工科大 総研) ,  長田実 (物材研 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点) ,  小林信太郎 (リガク X線研) ,  牧野久雄 (高知工科大 総研) ,  山本哲也 (高知工科大 総研)
資料名： 真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 57th  ページ： 12  発行年： 2016年11月29日 
JST資料番号： L1308A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  添加物効果 ,  マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  ガリウム ,  結晶方位 ,  *結晶構造 ,  輸送現象 ,  電気伝導 ,  ドーピング ,  アルミニウム
準シソーラス用語： 透明導電性酸化物 ,  直流マグネトロンスパッタリング ,  結晶配向 ,  *キャリア輸送 ,  AZO

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  配向秩序 ,  キャリア輸送 ,  Ga