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J-GLOBAL ID：201702250371357324   整理番号：17A0381674

アコースティックエミッションのための多軸ピエゾ抵抗MEMSセンサ【Powered by NICT】

A multi-axis piezoresistive MEMS sensor for acoustic emission

著者 (4件)： Matsuda Nobuhiko (The University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Dung Nguyen Minh (The University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Takahata Tomoyuki (The University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Shimoyama Isao (The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1181-1183  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,液体にピエゾ抵抗梁の構造に基づく三次元アコースティックエミッション(AE)検出のためのアプローチを提案した。センサは三ピエゾ抵抗梁,シリコーン液滴で覆われたを有し,指向性を生成し,三次元AEを測定するために三つの直交方向に直面している。マイクロスケールでの重力に対して支配的である液滴表面張力ので,液体は任意の位置におけるその形状を保つことができた。従来のAEセンサと異なり,梁は圧電抵抗器ベースので提案した三次元センサをダウンスケールすることができた。,集合したチップは,2.8mm×2.8mm×2.8mmの寸法を有していた。実験結果から,このデバイスは振動方向に依存して異なる周波数特性を持つことを示し,面内および面外AE波を測定することができる。さらに,デバイスは明確な双方向パターン,AE源位置推定に対する有用なを持っている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 周波数特性 ,  液滴 ,  *アコースティックエミッション ,  三次元 ,  指向性 ,  *多軸 ,  界面張力 ,  *センサ ,  直交性 ,  ポリシロキサン
準シソーラス用語： 位置推定 ,  AEセンサ ,  マイクロスケール ,  *MEMSセンサ ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 非破壊試験  (HB02030F)

タイトルに関連する用語 (4件)： アコースティックエミッション ,  多軸 ,  ピエゾ抵抗 ,  MEMSセンサ