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J-GLOBAL ID：201702272691970309   整理番号：17A0238586

WR1.5は懸濁シリコン導波路【Powered by NICT】

WR-1.5 suspended silicon waveguide

著者 (5件)： Liu Shuang (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China) ,  Hu Jiang (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China) ,  Xuan Zuhao (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China) ,  Zhang Yong (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China) ,  Xu Ruimin (School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： APCAP  ページ： 165-166  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： WR-5周波数帯(500-750GHz)で動作する低損失懸垂シリコン導波路。長方形シリコンストリップは,主な透過チャンネルである。シリコン格子の二群は長方形シリコンチャネルを保持まで用に設計されている。提案した導波路はTHz周波数帯で非常に正確な寸法制御による深い反応性イオンエッチング(DRIE)微細加工技術を用いて作製した。シリコン導波路はシリコン基板,伝送路以下のその部分は導波路の透過損失に及ぼす効果を低減するためのエッチングしたに結合した。標準金属導波路への懸濁シリコン導波路間の遷移は測定装置を接続するために設計した。懸濁シリコン導波路のシミュレートされた損失は600GHzで約0.02dB/mm,金属導波路よりも優れていた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： RIE【エッチング】 ,  *導波路 ,  計測器 ,  透過 ,  周波数帯 ,  チャネル ,  懸垂 ,  *ケイ素 ,  伝送線路
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  微細加工技術 ,  サイズ制御 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 懸濁 ,  シリコン ,  導波路