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J-GLOBAL ID：200906093159382600

RIE【エッチング】

電子素子
同義語 (4件)：

反応性イオンエッチング (reactive ion etching)
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反応性イオンエッチング (reactive ion etch)
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反応イオンエッチング (reactive ion etching)
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上位語 (1件)：

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下位語 (1件)：

DRIE【エッチング】 (deep reactive ion etching)
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