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J-GLOBAL ID：201702276624309432   整理番号：17A0031735

多重ホロー放電CVDプラズマの下流域におけるクラスタ輸送におよぼすパルス放電の影響

Effects of pulse discharge on cluster transport in downstream region of multi-hollow discharge CVD plasma

著者 (7件)： KOJIMA T. (Kyushu Univ.) ,  TOKO S. (Kyushu Univ.) ,  KEYA K. (Kyushu Univ.) ,  SEO H. (Kyushu Univ.) ,  ITAGAKI N. (Kyushu Univ.) ,  KOGA K. (Kyushu Univ.) ,  SHIRATANI M. (Kyushu Univ.)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web)
巻： 42  ページ： ROMBUNNO.3Po-8 (WEB ONLY)  発行年： 2016年 
JST資料番号： U0757A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ホロー陰極放電 ,  プラズマCVD ,  パルス放電 ,  *クラスタ ,  *輸送 ,  プラズマ ,  アモルファスシリコン ,  水素化物 ,  太陽電池 ,  光散乱 ,  ナノ粒子 ,  半導体
準シソーラス用語： 水素化アモルファスシリコン ,  アモルファスシリコン太陽電池 ,  レーザー光散乱 ,  シリコンナノ粒子

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (8件)： 多重 ,  放電 ,  CVD ,  プラズマ ,  下流域 ,  クラスタ ,  輸送 ,  パルス放電