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J-GLOBAL ID：201702284546494774   整理番号：17A0548569

Al,V共添加ZnO薄膜の電気・光学特性

著者 (6件)： 立山千聡 (東北大 工) ,  鈴木智也 (東北大 大学院) ,  千葉博 (東北大 大学院) ,  千葉博 (日本学術振興会) ,  川島知之 (東北大 大学院) ,  鷲尾勝由 (東北大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.15a-502-1  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  アルミニウム ,  バナジウム ,  ドーピング ,  *キャリア生成 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *電気抵抗率 ,  透過率 ,  *キャリア密度 ,  基板温度 ,  *光透過率 ,  酸化物半導体 ,  共ドーピング
準シソーラス用語： 同時ドーピング

分類 (1件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (4件)： Al ,  共添加 ,  ZnO薄膜 ,  光学特性