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J-GLOBAL ID：201002209705696399   整理番号：10A1103668

高密度パターンドメディアのための電子線描画ポスト格子とガイドラインによる自己組織化パターンの規則配列制御

著者 (8件)： 赤羽隆志 (群馬大 大学院工学研究科) ,  HUDA Mifutakhul (群馬大 大学院工学研究科) ,  田村拓郎 (群馬大 大学院工学研究科) ,  YIN You (群馬大 大学院工学研究科) ,  保坂純男 (群馬大 大学院工学研究科) ,  木原尚子 (東芝) ,  鎌田芳幸 (東芝) ,  喜々津哲 (東芝)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 71st  ページ： ROMBUNNO.14A-NC-11  発行年： 2010年08月30日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  配列 ,  制御 ,  電子ビームリソグラフィー ,  パターン形成 ,  格子構造 ,  *ブロック共重合体 ,  ポリスチレン ,  ポリジメチルシロキサン ,  *自己組織化 ,  記憶媒体
準シソーラス用語： *ナノドット ,  配列制御

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子線描画 ,  格子 ,  ガイドライン ,  自己組織化 ,  規則 ,  配列制御