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J-GLOBAL ID：200906083885395570

電子ビームリソグラフィー

電子素子
同義語 (7件)：

電子線リソグラフィー (electron beam lithography)
電子線リソグラフィーについて
- 「電子線リソグラフィー」ですべてを検索
電子ビーム露光 (electron beam lithography)
電子ビーム露光について
- 「電子ビーム露光」ですべてを検索
電子ビーム描画 (electron beam lithography)
電子ビーム描画について
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電子線露光 (electron beam lithography)
電子線露光について
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電子線描画 (electron beam lithography)
電子線描画について
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関連語 (1件)：

電子ビーム露光装置 (electron beam lithography system)
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上位語 (1件)：

リソグラフィー (lithography)
リソグラフィーについて
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下位語 (2件)：

直接描画 (direct drawing)
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LEEPL
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