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J-GLOBAL ID：201102201447508945   整理番号：11A1252268

機械的はく離法で作成した六方晶系窒化ホウ素(hBN)薄膜の評価

著者 (5件)： 日浦英文 (NEC) ,  日浦英文 (物質・材料研究機構) ,  谷口尚 (物質・材料研究機構) ,  渡邊賢司 (物質・材料研究機構) ,  塚越一仁 (物質・材料研究機構)
資料名： New Diamond  (New Diamond)
巻： 27  号： 3  ページ： 42-45  発行年： 2011年07月25日 
JST資料番号： X0341A  ISSN： 1340-4792  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 機能性セラミック ,...
準シソーラス用語： セラミック薄膜 ,...

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分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： はく離 ,  六方晶系窒化ホウ素 ,  薄膜 ,  評価