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J-GLOBAL ID:201102210028565679   整理番号:11A0797266

角度分解X線光電子分光法によるHfO2/Si/歪みGe/SiGe構造の評価 III

著者 (8件):
資料名:
巻: 58th  ページ: ROMBUNNO.27A-KW-4  発行年: 2011年03月09日 
JST資料番号: Y0054B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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固体の表面構造一般 

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