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J-GLOBAL ID：201102280378743586   整理番号：11A0972812

ZnO膜のダメージ評価方法の研究

著者 (2件)： 白方祥 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  酒見俊之 (住友重機械工業 技術本部 技術開発セ)
資料名： 愛媛大学社会連携推進機構研究成果報告書
号： 4  ページ： 31-37  発行年： 2011年03月 
JST資料番号： L5786B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 安価で高効率の太陽電池として,化合物薄膜系のCu(In,Ga)Se₂(CIGS)太陽電池が注目されている。この太陽電池では光吸収層となるGIGS層の上に溶液成長(CBD)法によってバッファ層を形成し,その上にZnO膜と透明導電層を積層する必要があるが,その成膜時に下地にダメージを与えると変換効率が低下する。本論ではその影響を評価する方法を研究した。バッファ層として厚さ50nmのCdSを用い,その上にスパッタおよびイオンプレーテイングを用いてZnO膜を作製し,さらに透明電極層を成膜して太陽電池を作製した。He-Neレーザを用いてプロセス毎のCIGS層のフォトルミネスセンス(PL)強度を測定し太陽電池特性との比較を行った結果,ZnO成膜前後のPL強度の比較により,ダメージの大きさを評価できることがわかった。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *太陽電池 ,  透明導電膜 ,  バッファ層 ,  スパッタ蒸着 ,  イオンめっき ,  硫化カドミウム ,  *光ルミネセンス ,  *品質
準シソーラス用語： *CIGS太陽電池

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： ZnO ,  ダメージ ,  評価方法 ,  研究