特許
J-GLOBAL ID:201103089388621316

マイクロポンプ・ミキサ一体化装置の流量制御装置及びマイクロポンプ・ミキサ一体化装置の流量制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  田中 秀▲てつ▼
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-355434
公開番号(公開出願番号):特開2006-161717
特許番号:特許第4654378号
出願日: 2004年12月08日
公開日(公表日): 2006年06月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板に、液体を流入する複数の入口と、各入口から流入された液体が流れて途中で混合する形状の流路と、この流路で混合された液体を流出する出口と、各入口に連通する流路毎に当該流路に振動が付与される状態で圧電素子を取付けた複数のポンプ部とを形成して成るマイクロポンプ・ミキサ一体化装置の各圧電素子に電圧を印加して振動させることにより液体を輸送するマイクロポンプ・ミキサ一体化装置の流量制御装置において、 前記入口から流入される各種異なる液体の粘度と、前記流路の形状の特性を示す流路形状特性値と、前記ポンプ部の背圧と当該ポンプ部で輸送される液体の流量との相関特性を示す背圧-流量特性値であって前記電圧のレベルを任意間隔で可変した際に同一液体で得られる複数の背圧-流量特性値とを記憶する記憶手段と、 液体の目標流量値が任意に設定される設定手段と、 前記記憶手段に記憶された粘度及び流路形状特性値と、前記設定手段に設定された目標流量値とを用い、当該目標流量時の背圧値である目標流量時背圧値を求める演算を行う第1の演算手段と、 前記複数の背圧-流量特性値に表される背圧値を前記目標流量時背圧値とした際の流量と前記電圧との相関特性を示す電圧-流量特性値を求める演算を行う第2の演算手段と、 前記電圧-流量特性値と前記目標流量値との交点から前記圧電素子への印加電圧値を求める演算を行う第3の演算手段と を備えたことを特徴とするマイクロポンプ・ミキサ一体化装置の流量制御装置。
IPC (9件):
F04B 49/06 ( 200 6.01) ,  B01F 5/00 ( 200 6.01) ,  B01F 15/02 ( 200 6.01) ,  B01J 19/00 ( 200 6.01) ,  B81B 7/02 ( 200 6.01) ,  F04B 13/00 ( 200 6.01) ,  F04B 23/04 ( 200 6.01) ,  F04B 43/04 ( 200 6.01) ,  G01N 37/00 ( 200 6.01)
FI (9件):
F04B 49/06 311 ,  B01F 5/00 D ,  B01F 15/02 A ,  B01J 19/00 321 ,  B81B 7/02 ,  F04B 13/00 B ,  F04B 23/04 ,  F04B 43/04 B ,  G01N 37/00 101
引用特許:
出願人引用 (5件)
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