特許

J-GLOBAL ID：201103089554895136

電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター

発明者： 横山 浩 ,  多辺 由佳
出願人/特許権者： 独立行政法人 科学技術振興機構
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116038
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296182
特許番号：特許第3537732号
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターにおいて、(a)試料からの反射光を入射させる第1の液晶リターダーと、(b)該第1の液晶リターダーからの出力光を入射させる第2の液晶リターダーとを配置し、(c)前記第1の液晶リターダーにかける電圧のみを変化させ最終光強度が最小となる値を求め、次に前記第1の液晶リターダーの電圧をこの値に固定した状態で前記第2の液晶リターダーにかかる電圧を変化させて最終光強度が最小となる値を求め、前記第1の液晶リターダーの電圧から複素反射率比であるrp /rs =tanΨexp(iΔ)の虚部Δ、前記第2の液晶リターダーの電圧から前記複素反射率比の実部tanΨを独立に求めることを特徴とする電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター。

IPC (5件)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/21 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G01B 11/06

FI (5件)：

G01J 4/04 A ,  G01N 21/21 Z ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G01B 11/06 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭51-129279
  
• 特開昭51-026084
  
• 物体検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-119727   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (5件)

• 特開昭51-129279
  
• 特開昭51-129279
  
• 物体検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-119727   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭51-026084
  
• 特開昭51-026084