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J-GLOBAL ID：201202167937193296   整理番号：12A1416993

平坦化多結晶ダイヤモンドMISFETの特性改善

著者 (12件)： 藤原直樹 (早稲田大 理工) ,  石坂博明 (早稲田大 理工) ,  谷内寛直 (早稲田大 理工) ,  谷内寛直 (JST-CREST) ,  有馬拓也 (早稲田大 理工) ,  有馬拓也 (JST-CREST) ,  梅沢仁 (早稲田大 理工) ,  梅沢仁 (JST-CREST) ,  立木実 (早稲田大 理工) ,  立木実 (JST-CREST) ,  川原田洋 (早稲田大 理工) ,  川原田洋 (JST-CREST)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 48th  号： 2  ページ： 590  発行年： 2001年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 平坦化 ,  多結晶ダイヤモンド ,  MISFET ,  特性改善