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J-GLOBAL ID：201202281793408982   整理番号：12A0587447

環境制御型非接触原子間力顕微鏡によるシリコン表面への原子状水素照射効果の観察

著者 (10件)： 宮城友昭 (北陸先端科学技術大学院大) ,  笹原亮 (北陸先端科学技術大学院大) ,  富取正彦 (北陸先端科学技術大学院大) ,  粉川良平 (島津製作所) ,  大田昌弘 (島津製作所) ,  山田啓文 (京大 大学院) ,  小林圭 (京大 ICC) ,  大藪範昭 (京大 大学院) ,  大藪範昭 (JST) ,  ANSARI Zubaida Mohammed Amin (Jamia Millia Islamia大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th  ページ： ROMBUNNO.15A-F5-11  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *効果 ,  水素 ,  ケイ素 ,  電子顕微鏡観察 ,  曝露 ,  *エッチング ,  表面性状
準シソーラス用語： *水素照射効果 ,  水素曝露 ,  *非接触原子間力顕微鏡

分類 (1件)： 半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 環境制御 ,  非接触原子間力顕微鏡 ,  シリコン ,  原子状水素 ,  照射効果 ,  観察