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J-GLOBAL ID：201302200824049819   整理番号：13A1721099

フッ素ガスによるダイヤモンドのフッ素終端化

著者 (5件)： 小林幹典 (早稲田大) ,  新谷幸弘 (早稲田大) ,  新谷幸弘 (横河電機) ,  明道三穂 (早稲田大) ,  川原田洋 (早稲田大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.18A-D1-10  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *成端 ,  *フッ素 ,  FET【トランジスタ】 ,  *RIE【エッチング】 ,  誘導結合プラズマ ,  結合エネルギー ,  *鉱石 ,  *宝石 ,  プラズマ
準シソーラス用語： *フッ素終端

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： フッ素ガス ,  ダイヤモンド ,  フッ素 ,  終端