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J-GLOBAL ID：201402255545675803   整理番号：14A0853378

大面積ナノ構造のレーザ支援複製

Laser-assisted replication of large-area nanostructures

著者 (7件)： NAGATO Keisuke (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  NAGATO Keisuke (PRESTO, Japan Sci. and Technol. Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama, 332-0012, JPN) ,  TAKAHASHI Ken (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  SATO Toshimi (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  CHOI Junho (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  HAMAGUCHI Tetsuya (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...) ,  NAKAO Masayuki (Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 214  号： 11  ページ： 2444-2449  発行年： 2014年11月 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大面積ナノ構造のポリマの高処理能力の製造方法を提案し,実証した。使用した型は,石英基板とナノ構造ダイアモンド状炭素(DLC)薄膜から成る。型の背後からレーザを照射し,DLC表面のみを直接加熱する。それから,型によってプレスされたポリメチルメタクリレート(PMMA)膜の表面を溶かし,ナノ構造を複製する。この方法によって,従来の熱的複製と比較して低量の熱と短サイクル時間で複製を達成することができる。レーザの点照射によって,複製面積に及ぼすレーザのパワー密度,照射時間および環境温度の効果を実験で調べた。さらに,数値シミュレーションを行って,型とポリマの表面周りの温度分布を調べた。レーザをスキャンして,約10sで10×10mm²の面積のPMMA膜上での500nmピッチパターンの複製を成功裡に実証した。この技術は,大面積ナノ構造光学膜の,高処理能力で低エネルギの製造をもたらすものと期待される。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ポリメタクリル酸メチル ,  *押付成形 ,  *ナノ構造 ,  *表面構造 ,  *複製 ,  微細加工 ,  *高分子加工用型 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  レーザ加熱 ,  *計算機シミュレーション ,  温度分布
準シソーラス用語： ナノパターン ,  レーザ走査 ,  石英基板 ,  *熱ナノインプリント ,  *表面ナノ構造 ,  *数値シミュレーション

分類 (1件)： その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大面積 ,  ナノ構造 ,  レーザ ,  支援 ,  複製