プラズマ生成装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：田村爾 , 杉村純子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-505962
特許番号：特許第5463573号
出願日： 2009年03月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】両端が開口した長尺状細管を収容可能であると共に、内部圧力を調整可能な容器と、該長尺状細管の少なくとも一部に磁界を印加する磁界印加手段と、該容器内にマイクロ波を入射するマイクロ波供給手段とを有し、該容器内に該長尺状細管を、該長尺状細管の両端の開口が該容器内に解放された状態で配置すると共に、該長尺状細管の内部と外部との間に圧力差を形成するため、該長尺状細管の少なくとも一部を曲げた状態か、又は該長尺状細管の両端部の開口を狭くした状態とし、かつ該長尺状細管の少なくとも一部に磁界を印加した状態で、該容器内にマイクロ波を入射することにより、該長尺状細管内にプラズマを生成することを特徴とするプラズマ生成装置。

IPC (3件)：