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J-GLOBAL ID：201502259868167940   整理番号：15A0145370

超平坦な平面ガラス基板

著者 (2件)： 尾藤洋一 (産業技術総合研) ,  近藤余範 (産業技術総合研)
資料名： 自動車技術  (Journal of Society of Automotive Engineers of Japan)
巻： 69  号： 1  ページ： 96-97  発行年： 2015年01月01日 
JST資料番号： F0387A  ISSN： 0385-7298  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平面度測定の高精度化に向けた新しい計測技術およびその計測技術を用いた超高精度ガラス平面基板の製作事例について解説した。物体の表面の局所的な傾斜角の変化を逐次測定し,得られた角度変化データを積分することによって,形状データを得る原理に基づく,オートコリメータおよびペンタゴンミラーを用いた局所傾斜角測定システムを提示した。ステージの駆動範囲1mにおいて,300mmのライン形状プロファイル測定に対して,±1nm以下という再現性を達成した。この測定装置を用いて,超高精度ガラス平面基板の開発を行った。研磨した平面ガラス基板の保持機構も併せて開発した。直径100mmの基板で,約6.3nmの凸凹の平面度を達成した。

シソーラス用語： *基板 ,  電気装置部品 ,  *ガラス ,  平面 ,  平坦性 ,  傾斜角 ,  角度測定 ,  計測システム ,  オートコリメータ ,  鏡 ,  形状測定 ,  精度
準シソーラス用語： ペンタゴンミラー ,  超高精度 ,  超平坦 ,  表面形状測定 ,  *平面ガラス基板

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (3件)：

• 尾藤洋一,近藤余範:高精度平面形状計測, OPTRONICS, No.380, p.71-77(2013)
• Y. Bitou and Y. Kondo : High-lateral-resolution scanning deflectometric profiler using a commercially available autocollimator, Meas. Sci. Technol., 25, 095202(2014)
• Y. Kondo and Y. Bitou : Evaluation of the deformation value of an optical flat under gravity, Meas. Sci. Technol., 25, 064007(2014)

タイトルに関連する用語 (1件)： ガラス基板