特許
J-GLOBAL ID:201503027566776845
研磨工具
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人みのり特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-174472
公開番号(公開出願番号):特開2015-042427
出願日: 2013年08月26日
公開日(公表日): 2015年03月05日
要約:
【課題】遊離砥粒を用いた研磨工具の砥粒保持性を改善することによって、研磨工具の研磨特性(研磨能率、仕上げ面粗さ)を従来よりも向上させ、また、研磨工具の摩耗を抑制する。【解決手段】定盤本体1の表面1aと被加工物5との間に遊離砥粒および液体が供給され、被加工物が定盤本体の表面に押圧されつつ定盤本体および被加工物が相対回転運動する。定盤本体の全体、もしくは表面を含むその上部1cが、固体接触状態にある金属粉末または金属繊維から形成された多孔質成形体、あるいは、固体接触状態にある金属粉末または金属繊維からなる多孔質体に樹脂を含浸させた成形体からなっている【選択図】図1
請求項(抜粋):
気孔または樹脂またはそれらの両方を内部に含んだ、金属粉末または金属繊維の成形体であって、前記成形体中の金属が占める体積割合が20〜70%であるものからなっていることを特徴とする研磨工具。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
3C058AA04
, 3C058AA09
, 3C058DA02
, 3C058DA17
引用特許: