特許
J-GLOBAL ID：201503099705490510
微細構造物及びその製造方法並びに脂肪族ポリカーボネート
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
河野 広明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-233048
公開番号（公開出願番号）：特開2015-093339
出願日： 2013年11月11日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
要約：
【課題】大気圧下であっても製造が可能な、高い寸法精度を有し得る微細構造物、及びその製造プロセス、並びにそのような微細構造物を得るための材料を提供する。【解決手段】本発明の1つの微細構造物の製造方法は、貫通孔及び/又は非貫通孔(V)を備えた微細構造物100の製造方法であって、脂肪族ポリカーボネート又はその脂肪族ポリカーボネートの下地に型押し加工を施すことによって、その脂肪族ポリカーボネートをパターニングするパターニング工程と、その脂肪族ポリカーボネートとその下地とを覆う第1金属酸化物前駆体層を形成する前駆体層形成工程と、第1金属酸化物前駆体層を加熱して第1金属酸化物層32を得る間に、前述の脂肪族ポリカーボネートを除去する除去工程と、を含む。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
貫通孔及び/又は非貫通孔を備えた微細構造物の製造方法であって、
脂肪族ポリカーボネート又は前記脂肪族ポリカーボネートの下地に型押し加工を施すことによって、前記脂肪族ポリカーボネートをパターニングするパターニング工程と、
前記脂肪族ポリカーボネートと前記下地とを覆う第1金属酸化物前駆体層を形成する前駆体層形成工程と、
第1金属酸化物前駆体層を加熱して第1金属酸化物層を得る間に、前記脂肪族ポリカーボネートを除去する除去工程と、を含む。
微細構造物の製造方法。
IPC (3件)：
B81C 1/00
, C08G 64/02
, B29C 59/02
B81C1/00
, C08G64/02
, B29C59/02 Z
3C081AA18
, 3C081AA19
, 3C081BA03
, 3C081BA04
, 3C081BA11
, 3C081CA03
, 3C081CA36
, 3C081CA40
, 3C081DA08
, 3C081DA21
, 3C081DA45
, 4F209AA28
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AP05
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN03
, 4F209PN06
, 4F209PQ01
, 4J029AA09
, 4J029AC01
, 4J029AD01
, 4J029AE18
, 4J029CF19
, 4J029HC07
, 4J029JB171
, 4J029JF181
