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J-GLOBAL ID：201602203402881017   整理番号：16A0283845

フッ酸系エッチャントによるZnTeのメサエッチングとZnMgTe/ZnTe光導波路のリッジ化

著者 (13件)： 風見蕗乃 (早稲田大 理工) ,  SUN W. (早稲田大 理工) ,  WANG J. (早稲田大 理工) ,  中須大蔵 (早稲田大 理工) ,  服部翔太 (早稲田大 理工) ,  木津健 (早稲田大 理工) ,  橋本勇輝 (早稲田大 理工) ,  玉川陽菜 (早稲田大 理工) ,  小高圭佑 (早稲田大 理工) ,  山本洋輔 (早稲田大 理工) ,  小林正和 (早稲田大 理工) ,  小林正和 (早大 材研) ,  朝日聡明 (JX金属)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.22A-H116-3  発行年： 2016年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光導波路 ,  *化合物半導体 ,  *テルル化亜鉛 ,  マグネシウム化合物 ,  *ウェットエッチング ,  エッチング液 ,  フッ化水素 ,  硫酸 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： フッ酸 ,  エッチャント ,  ZnTe ,  光導波路 ,  リッジ