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J-GLOBAL ID：201602242802630221   整理番号：16A1164675

マイクロボロメータ焦点面アレイを用いた室温テラヘルツ検出器の設計及びイメージングへの応用【Powered by NICT】

Design and Imaging Application of Room-Temperature Terahertz Detector with Micro-Bolometer Focal Plane Array

著者 (4件)： Wang Jun (School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China) ,  Gou Jun (School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China) ,  Wu Zhiming (School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China) ,  Jiang Yadong (School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China)
資料名： Dianzi Keji Xue Kan (Yingwen Ban)  (Dianzi Keji Xue Kan (Yingwen Ban))
巻： 14  号： 2  ページ： 98-102  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2842A  ISSN： 1674-862X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 室温テラヘルツ(THz)検出器は,それらの実時間,コンパクトバルク,および広いスペクトルバンド応答特性を有するために,画像化応用に大きな可能性を示した。マイクロブリッジ構造に基づく種々の寸法のTHz検出器は膜変形の試験結果から最適化されたマイクロボロメータパラメータを得るために設計し,作製した。マグネトロンスパッタリングと反応性イオンエッチング(RIE)の組合せプロセスによってVO_xマイクロボロメータのマイクロブリッジ構造に統合されるナノ構造化チタン(Ti)薄膜吸収体と,THz吸収の改善は光学特性測定により検証した。最適化されたセル構造を持つ2.52THz遠赤外CO_2レーザと320×240酸化バナジウムマイクロボロメータ焦点面アレイを用いて実証した連続波THz検出と画像化。本検出システムを用いて,ワイピングクロスに隠された金属のTHzイメージングと実証した包絡線。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 連続波 ,  マグネトロンスパッタリング ,  遠赤外線 ,  RIE【エッチング】 ,  *テラヘルツ波 ,  エンベロープ ,  スペクトルバンド ,  酸化バナジウム ,  最適化 ,  *検出器 ,  応答特性
準シソーラス用語： マイクロブリッジ ,  画像化 ,  *焦点面アレイ ,  *マイクロボロメータ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 焦点面アレイ ,  マイクロボロメータ構造 ,  リアルタイムイメージング ,  室温テラヘルツ検出器

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロボロメータ ,  焦点面アレイ ,  室温 ,  テラヘルツ ,  検出器 ,  設計 ,  イメージング ,  応用