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J-GLOBAL ID:201602252847912626   整理番号:16A1240738

硫化亜鉛結晶の固定研磨剤研磨に及ぼす種々の酸性及びアルカリ性スラリーの影響【Powered by NICT】

Influence of Different Acid and Alkaline Slurry on Fixed Abrasive Polishing of Zinc Sulfide Crystal
著者 (7件):
資料名:
巻: 45  号:ページ: 304-308  発行年: 2016年 
JST資料番号: W0398A  ISSN: 1000-985X  CODEN: RJXUEN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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硫化亜鉛結晶は重要な赤外光学材料であり、赤外線イメージング、ミサイル誘導、赤外線対抗などの赤外技術領域に広く応用されている。スラリーは,工作物とそれとの化学反応によって,工作物の表面品質と材料除去率に影響する。実験はエチレンジアミン,水酸化ナトリウム,クエン酸,塩酸を用いて異なる酸塩基性スラリーを調製し,研磨剤としてのアルカリ性が研磨剤の研磨剤の結晶除去率,表面形態,および表面粗さに及ぼす影響を研究した。実験結果は以下を示す。酸性スラリー研磨の材料除去率はアルカリ性スラリーのものより高かった。クエン酸のスラリーは,優れた表面品質と高い加工効率を得ることができ,研磨後の結晶表面粗さSA値は4.22NMであり,材料除去率は437NM/MINであった。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  その他の表面処理 
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