特許
J-GLOBAL ID：201603014454327871
切断面の検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
牛木 護
, 高橋 知之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-229240
公開番号（公開出願番号）：特開2013-088293
特許番号：特許第5875040号
出願日： 2011年10月18日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】照明手段の照明光が照射される方向に、前記照明手段、第1の偏光フィルタ、試料、第2の偏光フィルタ、撮影手段の順に配置するとともに、前記第1の偏光フィルタの偏光方向を所定の方向に向けて前記第1の偏光フィルタの偏光方向と前記第2の偏光フィルタの偏光方向を直交させ、前記照明手段が発する光を前記第1の偏光フィルタを透過させ前記試料の切断面で反射させてから前記第2の偏光フィルタを透過させ前記撮影手段により撮影して第1の画像を取得し、
前記第1の偏光フィルタの偏光方向を前記所定の方向から傾かせるとともに、前記第1の偏光フィルタの偏光方向と前記第2の偏光フィルタの偏光方向を直交させたほかは前記第1の画像を撮影した条件と同じ条件で第2の画像を取得し、
前記第1、第2の画像を加算して切断面を検出することを特徴とする切断面の検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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