IoTアプリケーションのための柔軟なシリコン上の不均一センサのCMOSと互換性のある大規模モノリシック集積【Powered by NICT】

Nassar Joanna M.; Sevilla Galo A. Torres; Velling Seneca J.; Cordero Marlon D.; Hussain Muhammad Mustafa

文献

J-GLOBAL ID：201702216426713783 整理番号：17A0214262

IoTアプリケーションのための柔軟なシリコン上の不均一センサのCMOSと互換性のある大規模モノリシック集積【Powered by NICT】

A CMOS-compatible large-scale monolithic integration of heterogeneous multi-sensors on flexible silicon for IoT applications

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(Integrated Nanotechnology Lab and Integrated Disruptive Electronic Applications (IDEA) Lab, Computer Electrical Mathematical Science and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), Thuwal 23955-6900, Saudi Arabia)

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巻： 2016 号： IEDM ページ： 18.6.1-18.6.4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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は,種々の物理的変形の下での圧力,温度,歪と湿度を同時にセンス可能なフレキシブルバルクシリコン(100)に基づく多重センサプラットフォームのCMOS技術可能にした作製とシステムレベルの集積化を報告した。IoTアプリケーションのための先進的ヘルスケアを可能にする体生体モニタリングのための先進的ウェアラブルバージョンを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

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