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J-GLOBAL ID：201702222002729972   整理番号：17A0381553

乾式移送法による物理的および生物学的センシングのためのエラストマーMEMS Fabry-Perot干渉計【Powered by NICT】

An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique

著者 (5件)： Takahashi Kazuhiro (Toyohashi Univ. of Tech., Toyohashi, Aichi, Japan) ,  Fujie Toshinori (JST PRESTO, Tokyo, Japan) ,  Sato Nobutaka (Waseda Univ., Tokyo, Japan) ,  Takeoka Shinji (Waseda Univ., Tokyo, Japan) ,  Sawada Kazuaki (Toyohashi Univ. of Tech., Toyohashi, Aichi, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 704-707  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自立薄膜との間の120~1080nmギャップを持つエラストマーベースFabry-Perot干渉計とドライ移動技術を用いて基板を開発した。ポリスチレン-polybutadiene-ポリスチレントリブロック共重合体(SBS)を用いて新たに開発されたエラストマナノシートは40MPaの低Young率,40%の大きな弾性歪,高接着性を提供する。自立SBSナノシートはSBSナノシートの高接着性のために真空と高温プロセスなしでドライ移動技術により形成することができる。直径80μmと120nmの最小ギャップ長さが達成された。圧力変化により,自立膜は乾燥移動SBSと基板間の良好な接着性を有する変形することが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： Young率 ,  高温 ,  *MEMS ,  圧力変動 ,  *干渉計 ,  薄膜 ,  ナノシート
準シソーラス用語： 自立膜 ,  粘着性 ,  弾性歪 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 移送 ,  物理 ,  生物学 ,  センシング ,  エラストマー ,  MEMS ,  Fabry-Perot干渉計