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J-GLOBAL ID：201702222997098362   整理番号：17A0318063

環境安定性を改善するための光パターン化パリレンを用いた有機電界効果トランジスタの不動態化【Powered by NICT】

Passivation of organic field effect transistor with photopatterned Parylene to improve environmental stability

著者 (4件)： Nair Shiny (Naval Physical and Oceanographic Laboratory, Kochi 682021, Kerala, India) ,  Kathiresan M. (Naval Physical and Oceanographic Laboratory, Kochi 682021, Kerala, India) ,  Mukundan T. (Naval Physical and Oceanographic Laboratory, Kochi 682021, Kerala, India) ,  Natarajan V. (Naval Physical and Oceanographic Laboratory, Kochi 682021, Kerala, India)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 163  ページ： 36-42  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周囲条件中に存在する水,酸素および他の環境要素に感受性としての非保護有機電子素子は劣化に悩まされている。不動態化はこれらのデバイスの電気的機能性を確実にするために,厳しい環境からそれらを保護するために使用した。操作安定性を改善するための光パターン化パリレンCを持つ有機電界効果トランジスタ(OFET)の不動態化のためのアプローチを提案した。パリレンC不動態化OFETのI_ds V_dsと伝達特性を非不動態化とポリ(ビニルアルコール)不動態化したペンタセン有機トランジスタと比較した。PVAを用いた従来の不動態化技術と比較した場合,パリレンCの光パターン化層は有機デバイスを効果的に保護することができ,非常に優れたバリア特性を有している。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 感受性 ,  ポリビニルアルコール ,  *不動態化 ,  *パターン形成 ,  酸素 ,  ポリアセン
準シソーラス用語： 有機エレクトロニクス ,  有機デバイス ,  伝達特性 ,  パリレンC ,  機能性 ,  *有機FET ,  *Parylene , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 有機エレクトロニクス ,  パリレンC ,  光パターン化 ,  リソグラフィー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  トランジスタ  (NC03070N)

物質索引 (1件)： ペンタセン

タイトルに関連する用語 (6件)： 環境 ,  安定性 ,  パターン化 ,  パリレン ,  有機電界効果トランジスタ ,  不動態化