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J-GLOBAL ID：201702233660469390   整理番号：17A1139933

薄膜シールド機構を備えた液中AFMの開発

著者 (7件)： 宮澤佳甫 (金大 院) ,  山村俊貴 (金大 院) ,  泉久範 (金大 院) ,  高橋康史 (金大 院) ,  高橋康史 (JST-さきがけ) ,  福間剛士 (金大 院) ,  福間剛士 (JST-ACT-C)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.6p-C24-4  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *位置 ,  液体 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *片持梁 ,  *シールド ,  *薄膜 ,  窒化ケイ素 ,  レーザ加工 ,  *Q値 ,  *共振周波数 ,  液膜 ,  感度 ,  蒸発抑制 ,  *液中

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜 ,  シールド ,  液中 ,  AFM ,  開発