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J-GLOBAL ID：201702238610709522   整理番号：17A0214145

統合FEM応用のための可変シリコン厚さ300mm鋳造HRSOI技術【Powered by NICT】

A 300mm foundry HRSOI technology with variable silicon thickness for integrated FEM applications
著者 (12件)：
Toh Rui Tze

Toh Rui Tze について

(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406 について

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Parthasarathy Shyam

Parthasarathy Shyam について

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Sun Tao

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Zhang Shaoqiang

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Purakh Raj Verma

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Zhu Chao Song

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Nune Venkata Sudheer

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Wong Jen Shuang

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Govindarajan Madabusi

Govindarajan Madabusi について

(GLOBALFOUNDRIES Engineering Private Limited, 9th Floor, Manyata Embassy Business Park, Bangalore, India - 560045)

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Yoo Yong Koo

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Chew Kok Wai

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(GLOBALFOUNDRIES, 60 Woodlands Industrial Park-D, Street-2, Singapore-738406)

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Ang Diing Shenp

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(School of EEE, Nanyang Technological University, Nanyang Avenue, Singapore 639798)

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資料名：
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

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巻： 2016  号： IEDM  ページ： 2.4.1-2.4.4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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システムオンチップRFフロントエンドモジュール(FEM)の技術統合への新しいアプローチを提示した。1.6Ohm mmとf_T>39GHzのRonと最良拡張ドレインパワーMOSFET(EDNMOS)を達成するためのデバイス設計について考察した。これは選択的シリコン薄層化により統合した高性能スイッチデバイスの解析を行った。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*鋳造

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薄膜

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*ケイ素

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準シソーラス用語：
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デバイス設計

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パワーMOSFET

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RFフロントエンド

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システムオンチップ

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分類 (1件)：
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トランジスタ 
(NC03070N)

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タイトルに関連する用語 (7件)：
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FEM

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シリコン

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鋳造

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