非晶質炭窒化けい素薄膜の構造と光ルミネセンスに及ぼす炭素の影響【Powered by NICT】

Khatami Z.; Wilson P.R.J.; Wojcik J.; Mascher P.

文献

J-GLOBAL ID：201702238893070419 整理番号：17A0400992

非晶質炭窒化けい素薄膜の構造と光ルミネセンスに及ぼす炭素の影響【Powered by NICT】

The influence of carbon on the structure and photoluminescence of amorphous silicon carbonitride thin films

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巻： 622 ページ： 1-10 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

炭化けい素と窒化けい素の間の中間構造,炭窒化ケイ素(SiCN)はシリコンをベースにした可視ルミネセンスの性能を向上させるために興味ある材料として出現した。本研究では,SiCN薄膜をガス前駆体としてシラン,窒素およびメタンを用いた電子サイクロトロン共鳴プラズマ増強化学蒸着により堆積した。SiCN層の微細構造,組成,および光学的性質は,弾性反跳検出,Rutherford後方散乱分光法,紫外-可視分光法,角度可変分光偏光解析法,光ルミネセンス,X線光電子分光法,Fourier変換赤外分光法,高分解能透過型電子顕微鏡,およびX線回折分光法により決定した。光学的および電気的特性は構造特性と結合したSiCN薄膜の性質におよぼす炭素取込の影響を調べた。から0~41.6at.%炭素含有量の連続的増加は,膜の屈折率と成長速度の増加をもたらしたが,バンドギャップの狭まりが生じた。構造研究は,炭素がSiCN薄層におけるシリコンよりもむしろ窒素と結合を形成することを好むことを示した。作製された膜は主に非晶質窒化けい素と炭化けい素構造と少量の非晶質SiCNネットワークを含んでいた。光ルミネセンス発光は,475と550nmに中心を持つ二つのピークを示した。光ルミネセンス挙動の間で観察されたリンクとSiCN層の組成と構造が最も発光SiCN薄膜の詳細を明らかにした。窒化けい素(炭素を含まない)薄膜は低い発光強度窒化けい素マトリックス中の炭素の存在は可視光発光を増強したことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般

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